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中巨芯持续打磨产品技术 深受众多半导体企业认可

近日,上海证券交易所披露中巨芯科技股份有限公司(以下简称“中巨芯”)第二轮审核问询函的回复。据公开资料显示,中巨芯自设立以来专注于集成电路制造用电子化学材料,目前已成为境内品类最全的电子化学材料提供商之一。

集成电路产业“水”和“空气”的提供者

电子化学材料种类繁多,包括光刻胶、电子特种气体、电子湿化学品、前驱体材料、抛光液等等,是集成电路产业不可或缺的重要支撑材料,是集成电路产业发展所需的“水”和“空气”。面对如此重要的集成电路材料,相比国外领先厂商而言,目前国内厂商一方面产品种类不齐全,只能实现个别或部分产品的单点突破和进口替代,还有部分产品因无技术储备尚处于空白状态;另一方面,部分国内厂商产品仍以满足8吋及以下的供应为主,但无法满足12吋先进制程的需求。

为服务国家集成电路产业的重大战略需求,中巨芯自设立以来专注于集成电路制造用电子化学材料,力争成为国内规模最大、品类最全、品质最高的电子化学材料提供商之一,为客户提供电子湿化学品、电子特种气体和前驱体材料等一站式服务,填补国内空白,降低电子化学材料对外依存度。公开资料显示,目前国内能够同时涉及三大品类电子化学材料的供应商屈指可数。

在电子湿化学品方面,中巨芯已成为国内规模化生产电子湿化学品的主要企业之一,其生产的电子级氢氟酸、电子级硫酸、电子级硝酸等主要产品均已达到12 英寸集成电路制造用级别,产品均达到G5级别。值得注意的是,中巨芯是国内少数能够稳定批量供应12英寸nm(10-20nm)制程的集成电路制造用电子级氢氟酸、少数能够为逻辑电路、存储器制造稳定批量供应电子级硝酸、也是少数能够为12英寸28nm制程稳定批量供应电子级硫酸的企业,而且中巨芯电子级氢氟酸被浙江省经济和信息化厅认定为“技术水平国际先进且打破国际垄断”,电子级硫酸、电子级硝酸被浙江省经济和信息化厅认定为“技术水平国内领先,打破国际垄断,实现重点领域降准替代且在知名用户应用”。

在电子特种气体方面,公司已实现6N纯度的高纯氯气、高纯氯化氢及5N纯度的高纯氟化氢等产品量产,并实现5N5纯度的高纯六氟化钨、4N-5N 纯度的高纯三氟甲烷、八氟环丁烷、八氟环戊烯、六氟丁二烯等产品的客户送样。此外,公司还承担了“微纳电子制造用超高纯电子特种气体项目”、“集成电路12英寸晶圆制造用超高纯氢氟酸”等多项国家科技部重点研发项目。

在前驱体材料方面,公司的HCDS、BDEAS、TDMAT等产品已成功送样至华虹半导体(无锡)有限公司等,是国内少数能够进入该领域并完成产品生产的企业之一。

持续打磨产品技术 稳步提升市场占有率

基于集成电路制程提升对产品品质提出的新需要,中巨芯近几年持续提升现有产品品质。公司通过持续的研发投入改善生产工艺,提升产品规格,使产品品质可以满足下游客户不断迭代的技术需要。

在电子湿化学品方面,公司在产品制备技术上解决了杂质离子深度去除与微纳颗粒高效分离去除的难题;在产品检测上开发了基于微环境控制的超高纯品质保障技术;在应用制程方面,公司电子级氢氟酸、电子级硫酸、电子级硝酸均已达到12英寸集成电路制造用级别,并已进入国内领先制程的集成电路制造企业。

在电子特种气体方面,公司高纯氯气、高纯氯化氢的纯度由5N提升至6N并稳定量产,高纯六氟丁二烯的纯度由4N提升至4N5并进行客户认证;同时,公司已实现5N5纯度高纯六氟化钨的产品送样,并正进行6N纯度高纯六氟化钨的研发。

报告期内,公司研发费用逐年增加,年复合增长率为 32.14%。截至2021年末,公司已取得47项国家授权专利,其中发明专利36项,实用新型11项。凭借在电子化学材料领域丰富的技术积累,公司近年还承担了3项国家级、2项省级、3项市级重大科研项目。

随着产品技术的不断研发与改进,中巨芯产品市场占有率也在逐年提升。2021年中巨芯主要产品电子级氢氟酸、电子级硫酸和电子级硝酸占国内市场份额分别达到19.78%、4.41%和66.39%;高纯氯气、高纯氯化氢2021年的市场占有率分别达到20.97%和55.10%。据业内人士表示,未来随着送样阶段产品的量产,公司在电子湿化学品和电子特种气体的市场占有率有望进一步提升。

产品认可度不断提高 深受众多客户认可

招股说明书显示,中巨芯主要客户涵盖领域较多,其中绝大部分客户均为细分领域的上市公司。公司的电子湿化学品已获得SK海力士、台积电、德州仪器、中芯国际、长江存储、华虹集团、华润微电子、合肥长鑫、厦门联芯等多家知名的半导体企业的认可;电子特种气体及前驱体材料也已陆续进入如中芯国际、厦门联芯、士兰微、立昂微、华润微电子、德州仪器、京东方、华星光电等主流客户的试用与供应阶段。其中,SK海力士是公司不断进行市场开拓所引入的新客户,主要为其销售的产品为电子级氢氟酸。

多年来,公司不断提升产品品质并增加产品品类,在行业内获得各大客户的认可,并与各大客户建立长期、稳定的合作伙伴关系,形成较高的客户粘性。据其招股书介绍,公司2018年度、2019年度、2020年度和2021年1-6月前五名客户合计销售额占当期销售总额的比例分别为32.45%、35.01%、34.90%和33.55%,在销售金额不断增加的基础上,销售占比也持续保持稳定。

中巨芯方面表示,公司未来将努力抓住我国半导体行业的发展机遇,充分发挥公司已有的市场地位、技术优势和行业经验,在保持公司内生性增长的同时,通过投资、并购和国内外合作等发展方式来提升我国电子化学材料的综合竞争力,加快集成电路制造国产材料替代的步伐,力争成为国内半导体电子化学材料的领军企业,并在全球先进的半导体材料供应企业中占有一席之地。

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